半导体

半导体设备用橡胶密封件

根据实际工艺条件评估设备密封。FFKM 与 FKM 候选材料需要明确的规格、应用评估与资格验证计划。

01 / 半导体

从实际密封位置开始

识别设备位置与密封要求,提供原图纸、材料参考和评价原因。腔体接口、流体连接和替代件需求分别需要暴露与批准依据,材料家族名称只是其中一项输入。

02 / 半导体

准备工艺与接口信息

描述密封位置经历的顺序,包括清洗、加热与压力变化。

半导体设备密封评估输入
输入项所需信息
零件识别图纸版本、原件参考、尺寸、可用样品
位置密封位置、配合几何、沟槽、间隙、支承
工艺化学实际气体或液体、组成、清洗、顺序
热工况正常温度、峰值、保持、转换、恢复
真空或压力运行历史、抽空或放气、压力变化
装配安装、压缩、表面、允许润滑剂
证据所需污染输出、方法、验收判据、设备批准

03 / 半导体

每项工艺问题对应各自证据

等离子暴露、颗粒、释气、渗透与总成泄漏是不同评价。每项所需报告分别约定胶料、样品状态、条件和输出。涉及可提取金属时,与设备团队明确分析对象、提取和测量方法、样品制备及报告限值。

04 / 半导体

更换供货前评价候选

按原规格与服务历史比较候选胶料和零件,批准前约定材料试验、可识别样品及设备试用。重复供货关联图纸、牌号、批次、包装和变更要求。品牌参考用于识别原件,候选仍需自身评价。

从需求开始评估零件

讨论设备密封要求

发送图纸或描述应用,同时提供使用工况、材料要求和数量。

发送项目要求