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半導体製造向けFKM・FFKMシール

半導体プロセス装置には、材料純度、耐薬品性、クリーンな取り扱い、追跡可能な生産記録が求められます。

対応領域

半導体シールは一律カタログではなく、プロセス条件に基づいて技術評価します。

FKMベースプロセスシール

媒体、温度、取り扱い条件にFKM性能が適合するプロセス界面向け。

FFKMベースプロセスシール

高い耐薬品性・耐熱性が必要な厳しいプロセス条件向け。

単一混練ラインが重要な理由

管理されたA混練、順序計画、洗浄記録により、高純度・長寿命シール向けの配合安定性を支えます。

プロセス適合性確認

プロセス条件、媒体、温度、動き、期待寿命を共有ください。RubberQが適切なFKMまたはFFKM材料ルートを確認します。